MarSurf | 白光干涉仪

适用于极光滑表面的最高精度

MarSurf | 白光干涉仪

最小的粗糙度精确到纳米级

在医学工程、半导体、光学和其他工业领域中,对拥有特定特性的极其光滑表面的需求越来越高。而新型的Mahr马尔白光干涉仪就在这些领域中有着广泛的应用。这款白光干涉仪精确到纳米级,能够满足测量最小粗糙度的要求,是光学计量领域中的一款重要品牌仪器。使用Mahr马尔白光干涉仪,可以轻松获得所需表面的质量数据,帮助提高生产效率和产品质量。

  • ICA 技术
    专为确保最佳相关性而设计的智能关联算法

  • 最佳信噪比
    最小噪声,仅为 80 皮米

  • 手动到自动
    可用于各种应用的三款设备型号

  • 定位体积大
    灵活测量大体积或工装组件

ICA 技术

全新的 ICA 技术在单一的大型应用领域中结合了传统方法(如 PSI 和 VSI)的优良特性。创新算法可确定表面的统计相关图,并将其用于评估测量数据。

  • 使用相位信息和振幅信息
     
  • 没有对测量数据进行平均预处理
     
  • 最大稳定性和高精确度

最小噪声, 仅为 80 皮米

ICA 能够在尽可能降低噪声的同时实现精确的定位,从而确保非常高的数据质量。由于 信噪比 高,Mahr 技术达到了 PSI 的质量水平,仅 80 皮米(STR/表面特征轮廓可重复性),同时具有更好的 稳定性 和更高的 可靠性


无论是手动还是自动化

MarSurf WI 系列产品组合包括三款设备,可为客户带来特定优势。

  • WI 50 M:面向高要求测量任务的全面手动入门级解决方案
     
  • WI 50:用于研究和质量保证的高精度测量工具
     
  • WI 100: 无用户影响和拥有广泛灵活性的自动化测量

定位体积大

MarSurf WI 50M 和 WI 100 设备在 XY 方向有扩展的工作范围,更重要的是,对于大体积样品,在 Z 方向也有扩展的工作范围。WI 100 示例:只需使用侧面的调整向上移动额外的手动 Z 轴即可测量 XXL 组件。

电动高端设备 MarSurf WI 100 的特点是在 XYZ 方向上具有扩展更广的工作范围 - 只需使用侧面调整即可移动额外的手动 Z 轴。 这意味着可以很容易地测量组件,同时保持固定在特定的安装位置。

直观的用户软件

测量、显示、评定:借助 Mahr 的全面软件解决方案,这些操作可以直观有效地完成。用于干涉仪、共聚焦显微镜和轮廓仪的软件。其他优势:

  • 直观操作可以进行快速而可靠的测量
  • 清晰灵活的结果显示
  • 高效系列测量的自动化选项

MarSurf 3D 软件已经建立并使用了多年。简单测量的常用功能包括:

  • 只需点击几下即可获取测量值的快照技术
  • 用于快速选择测量区域的预扫描功能
  • 自动强度和自动范围, 实现最佳可用性
  • 重复测量的模板功能
  • 自动执行多个测量的多点工具
全面显示粗糙度、波纹度等 结果和简单文档:
  • 高质量 3D 显示,可快速预览
  • 根据通用标准(ISO 4287、25178、13565…)进行 2D 和 3D 分析
  • 几何、体积、轮廓、CAD 对比
  • 报告中包含即时或后续分析选项的简单文档

使用 MarSurf 自动化软件 进行自动化测量和评定

  • 与用户无关的系列测量
  • 工业适合性
  • 单个测量程序中可为每个样品不同的测量任务和评估来进行编程
  • 方案生成、SPC 控制、QS-Stat 输出

一种哲学

无论你选择的是哪种Mahr测量系统,你可能已经了解到它附带的软件。针对MarSurf 3D系列中的所有系统,Mahr采用了一种清晰有序的软件设计,它已在实践中多次证实过效果。该软件设计为测量、分析和记录提供了完美的工具。因为软件的结构化设计,系统的使用非常简单直观,无论是专业的测量工程师还是新手,都可以轻松地应用它们。因此,Mahr测量系统不仅提供了高质量的测量功能,也简化了工业测量的操作性。

MarSurf WI | 演示

关注新型干涉仪

在左侧收听采访内容,其简要介绍了新型干涉仪的主要优点。在我们的产品展示厅中可以找到单个产品和更多信息以及视频。

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应用

组件的性能越来越取决于其表面特性。这适用于形状 偏差和粗糙度以及波纹度或几何特征。我们的系统应用于以下行业:光学、医疗技术、半导体工业、表面技术、材料科学、微系统技术等。医用光学计量设备专为日益重要的医疗应用而设计,选择Mahr作为白光测量仪品牌,可以满足您的各种需求。

有关更多信息,请点击红色圆点。


颗粒分析

颗粒、晶粒、凹沟、纹理、斜坡和波谷的检测和分类

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距离测量

全面的水平距离测量 (x;y)、角位置和倾斜角度

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2D 粗糙度 (Rz)

轮廓粗糙度符合 ISO 4287、ISO 13565、ASME B46.1、ISO 12085、VDA、 SEP 或 MBN 标准

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体积 (V)

低谷、斜坡、波谷、波峰和颗粒的体积计算

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形状

平面轮廓的形状偏差,与 CAD 数据的标称值/实际值进行比较,根据 ISO 12181 进行圆度评估

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3D 粗糙度

符合 ISO 25178 的表面粗糙度评定

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平面度

确定整个或部分表面的平面度,例如根据 ISO 12781

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错误

检测和分析缺陷、表面缺陷和损坏

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高度

距离测量 (z),确定最大和平均高度以及位置差异

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目视观察

评定中的实时视图或照片模拟演示以及 3D 视图

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轮廓分析

确定半径、圆、圆截面以及角度,包括评定半角或全角

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轮廓偏差

符合 ISO 12780 的标称轮廓线偏差和直线度参数

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涂层

直接确定透明表面的层厚,对于不透明表面,通过台阶高度分析确定层厚

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面积 (A)

计算波峰和波谷的表面积以及确定最大凸起/凹点

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新型 Mahr 白光干涉仪

MarSurf WI 50 M 是新型 Mahr 白光干涉仪的手动入门级解决方案。控制装置内置在支架中,功能性倾斜平台以及手动 x、y 和 z 轴,使用户的调整和对焦变得简单。 其他优点包括紧凑的设计、 定位体积大,以及出色的性价比。

 

我们的专业纳米级测量解决方案 MarSurf WI 50 和 WI 100 可以快速且只需几步即可获取 3D 测量数据。 其 HD 拼接功能可确保即使在较大的测量区域也有一致的高分辨率。内置的碰撞检测功能为工件和设备本身提供了全方位的安全保障。 高端 MarSurf WI 100 可配备自动化软件,用于重复测量任务

您对我们的产品感兴趣吗? 我们会很乐意联系您!

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