产品组合
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MarSurf WI 100
自动化测量系统，可实现连续测试
我们的高端设备 MarSurf WI 100 具有电动 XYZ 工作台，可在不受用户影响的情况下进行高精度测量。
- CNC 轴 (XYZ)
- 通过自动化软件实现高效连续测量
- 大定位工作台 100x100mm²
产品组合
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MarSurf WI 50
为您的测量提供高速度和灵活性
当涉及到 亚纳米范围时，提供灵活的通用测量解决方案—这就是新型 MarSurf WI 50 的全部意义所在。
- 高清拼接，同时拥有高分辨率
- 大工件体积
产品组合
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MarSurf WI 50 M
可用于各种应用的入门级系统
MarSurf WI 50 M 是迈入 白光干涉测量领域的解决方案。控制单元集成在支架中，功能性倾斜平台以及手动 x、y 和 z 轴，使用户的调整和对焦极其灵活和 简单。其他优点包括紧凑的设计及较大的工件体积和重量，以及出色的性价比。
干涉仪
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MarSurf WI 系列
从手动到自动
MarSurf WI 系列产品组合包括三款设备，可为客户带来特定优势：
- WI 50 M：面向高要求测量任务的全面手动入门级解决方案
- WI 50：用于研究和质量保证的高精度测量工具
- WI 100：无用户影响和拥有最广泛的灵活性的连续测量
干涉仪
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最优 SNR
最小噪音，仅为 80 皮米
ICA 技术能够准确确定高度值，同时将噪音降至最低。这确保了非常高的数据质量。 由于此非常高的 信噪比，Mahr 技术达到了 PSI 的质量水平，仅 80 皮米（STR-表面-表面特征轮廓-可重复性） ，同时具有更好的稳定性和更高的可靠性。
干涉仪
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ICA 技术
结合 PSI 和 VSI 的优点
全新的 ICA 技术在单一的大型应用领域中结合了先前方法（如 PSI 和 VSI）的优良特性。创新算法可确定表面的统计相关图，并将其用于评估测量数据。
- 使用相位信息和振幅信息
- 没有对测量数据进行平均预处理
- 最大稳定性和高精确度
干涉仪
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MarSurf WI 产品系列
精确到纳米级的粗糙度
新的 ICA 技术使全新的 MarSurf WI 产品系列具有多项优势
- ICA 技术提供更好的测量数据
- 最佳信噪比
- 从手动到全自动化
- 为您的 工件提供很大的定位空间